德国慕尼黑——瓦克化学股份公司最近完成了德国博格豪森工厂超纯氯化氢生产的扩建。该工厂于七月中旬投入使用，显着提高了总体产量。新增产量的买家来自半导体行业，该行业使用超纯氯化氢作为蚀刻和清洁剂。新工厂的投资成本低至两位数百万欧元。产能的增加将加强该公司在半导体行业的特种化学品产品组合。

氯化氢 (HCl) 在化学工业中有许多不同的应用。使用这种反应气体使制造商能够将低能原材料转化为下游生产步骤的反应中间体。例如，瓦克使用盐酸生产太阳能和半导体行业的有机硅、气相二氧化硅和多晶硅。

这种无色水溶性气体也是半导体工业的重要加工助剂。氯化氢用于蚀刻超纯硅片和清洁工厂部件。然而，所使用的介质必须极其纯净，以防止污染。“近年来，由于成本和质量原因，我们的许多竞争对手已经退出氯化氢生产。加之对半导体元件的需求不断增长，超纯盐酸目前很难获得。”瓦克执行董事会成员 Christian Kirsten 说道。

瓦克目前是欧洲极少数能够按质量和数量提供氯化氢的公司之一。该公司启动了数千万欧元的投资，以覆盖其博格豪森工厂最近完成的扩建工程和相关基础设施。“我们对电子化学品业务的发展感到非常满意，该业务具有良好的增长前景，”Kirsten 强调。“许多大趋势将基于半导体元件，这除了增加对芯片的需求外，还将创造对超纯氯化氢等加工助剂的更多需求。扩大我们的产能将使我们能够满足未来的需求。”

瓦克利用来自德国施泰滕矿山的岩盐生产氯化氢。那里开采的盐的成分和纯度特别适合生产。“到目前为止，99.9979% 的纯度是适用于半导体的 HCl 的基准，”瓦克有机硅业务部总裁 Thomas Koini 表示。“我们的氯化氢纯度为 99.9995%，这使得它比大多数现有产品的纯度要高得多。这也将满足未来芯片行业的质量和纯度要求。”

除氯化氢外，该化学集团还生产用于半导体行业的其他特种化学品。其产品组合的例子包括用于涂覆超纯硅晶片的前体以及用作 CMP 浆料研磨剂的气相二氧化硅。此类产品的主要买家是向半导体公司出售加工助剂和其他特种化学品的国际天然气供应商。